干式真空泵是一种无油、无液体润滑的真空泵，其工作原理是通过机械运动将气体从被抽空的容器中排出，从而实现真空的产生。
干式真空泵主要由泵体、转子、定子、进气口和排气口等组成。泵体内部有一个转子和一个定子，转子和定子之间的间隙非常小，通常为几个毫米。转子上有一些叶片，当转子旋转时，叶片会与定子的内壁相互接触，形成一系列的密封腔。进气口和排气口分别与泵体的两端相连，通过进气口将气体引入泵体，然后通过转子的旋转将气体排出。
干式真空泵的工作过程可以分为四个阶段：吸气、压缩、排气和排气。
在吸气阶段，当转子旋转时，叶片与定子的内壁相互接触，形成一系列的密封腔。当转子旋转到进气口时，进气口打开，外界的气体进入泵体，填充到密封腔中。
在压缩阶段，当转子继续旋转时，叶片与定子的内壁相互接触，密封腔逐渐缩小，气体被压缩。由于密封腔的体积减小，气体的压力逐渐增大。
在排气阶段，当转子旋转到排气口时，排气口打开，被压缩的气体被排出泵体，进入排气管道。由于排气口的打开，泵体内部的压力降低，形成真空。
在排气阶段，当转子继续旋转时，叶片与定子的内壁相互接触，密封腔逐渐扩大，泵体内部的压力进一步降低。这样，泵体内部的气体被进一步排出，真空度进一步提高。
干式真空泵的工作原理可以总结为：通过转子的旋转，将气体从进气口吸入泵体，然后通过转子的旋转将气体压缩，最后通过排气口将气体排出泵体，从而实现真空的产生。
干式真空泵具有无油、无液体润滑的优点，不会产生油污染，适用于对气体纯度要求较高的场合。同时，干式真空泵结构简单，维护方便，使用寿命长。然而，由于干式真空泵无法排除气体中的水分和可燃气体，因此在某些特殊场合需要配合其他设备一起使用。"