真空隔膜泵是一种利用弹性隔膜作为工作元件，通过压缩空气或气体来实现抽取气体的真空泵。其工作原理主要包括气体吸入、气体压缩和气体排出三个过程。
首先，在气体吸入过程中，当隔膜泵开始工作时，气体从进气口进入泵体。此时，隔膜泵的进气阀门打开，而出气阀门关闭。隔膜泵的压缩室内的气体被抽入隔膜泵的泵腔中。
接着，在气体压缩过程中，当气体进入泵腔后，隔膜泵的压缩室内的气体被隔膜泵的隔膜压缩。隔膜泵的压缩室内的气体被隔膜压缩后，压缩室内的气体压力增加，同时隔膜泵的进气阀门关闭，而出气阀门打开。这样，压缩室内的气体被排出泵体。
最后，在气体排出过程中，隔膜泵的出气阀门打开，压缩室内的气体被排出泵体。此时，隔膜泵的进气阀门关闭，而出气阀门打开。隔膜泵的压缩室内的气体被排出泵体，从而实现了气体的抽取。
总结起来，真空隔膜泵的工作原理是通过隔膜的压缩和释放来实现气体的抽取。隔膜泵的隔膜在工作过程中不与气体直接接触，因此可以避免气体与泵体内部的润滑油或润滑脂接触，从而避免了气体被污染的问题。此外，隔膜泵的结构简单，维护方便，且具有较高的抽取效率和较低的噪音水平，因此被广泛应用于各种真空抽取领域。